Induzierte magnetische Anisotropie über Substratdehnung durch Wasserstoffbeladung

Schematische Darstellung des biaxialen Spannungszustandes in der magnetischen Funktionsschicht, welche durch Volumenausdehnung des Substrates bei Wasserstoffbeladung verursacht wird. Daraus resultiert eine Kontraktion der Funktionsschicht in vertikaler Richtung.

Röntgenbeugunsdiagramme einer 20 nm dicken CoFe Funktionsschicht auf Ta-Substrat im wie hergestellten Zustand und nach Wasserstoffbeladung. Deutlich zu erkennen sind die unterschiedlichen Verschiebungsrichtungen der Beugungsmaxima von Substrat und Funktionsschicht, die aus dem biaxialen Zugspannungszustand in der Funktionsschicht resultieren.